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上海添時科學儀器有限公司

PRODUCT DISPLAY

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噴膠機

參  考  價:面議
具體成交價以合同協議為準

產品型號:SP200

品       牌:其他品牌

廠商性質:代理商

所  在  地:上海市

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更新時間:2025-03-13 08:35:07瀏覽次數:2330次

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應用領域 化工 控溫范圍 50-150℃
溫度均勻性 ±1% 光刻膠流量 0.4-20ml/min
加熱平臺轉速 1-30rpm 噴嘴水平移動速度 ≤200mm/s
噴嘴水平行程 ≤300mm 光刻膠霧化直徑 30-50μm
設備尺寸 1000mm(W)*1000mm(D)*1800mm(H)
噴膠機適用于8英寸及以下晶圓的自動噴膠工藝
全封閉結構,不銹鋼框架、鏡面不銹鋼面板
高精度旋轉加熱平臺,具有晶圓真空吸附及自動頂升功能
供膠系統采用微小流量供液系統,流速連續平穩,流量精確可調
高精度超聲波霧化噴嘴,霧化顆粒均勻,超聲波霧化功率可調
觸摸式人機交互界面,可實現配方編輯及運行狀態監控

噴膠機

適用于8英寸及以下晶圓的自動噴膠工藝
全封閉結構,不銹鋼框架、鏡面不銹鋼面板
高精度旋轉加熱平臺,具有晶圓真空吸附及自動頂升功能
供膠系統采用微小流量供液系統,流速連續平穩,流量精確可調
高精度超聲波霧化噴嘴,霧化顆粒均勻,超聲波霧化功率可調
觸摸式人機交互界面,可實現配方編輯及運行狀態監控

產品參數

控溫范圍:50-150℃
溫度均勻性:±1%
3光刻膠流量:0.4-20ml/min
加熱平臺轉速:1-30rpm
噴嘴水平移動速度:≤200mm/s
噴嘴水平行程:≤300mm
光刻膠霧化直徑:30-50μm
設備尺寸:1000mm(W)*1000mm(D)*1800mm(H)

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